可精准实现气泡激发及监测的集成式加热装置的制备方法
文献类型:专利
作者 | 赵建福![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2024-01-23 |
专利号 | CN116660311B |
著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
英文摘要 | 本发明实施例公开了一种可精准实现气泡激发及监测的集成式加热装置及制备方法,包括叠层设置的激发加热组件与稳定加热组件,以及设置于所述激发加热组件与所述稳定加热组件之间的温度探测结构;其中,所述激发加热组件中背离所述稳定加热组件的端面上形成有多个各自能够加热的气泡激发器;所述稳定加热组件中背离所述激发加热组件的端面上形成有至少一个主加热器;所述激发加热组件、所述稳定加热组件和所述温度探测结构上还电连有电力提供单元。本发明集成多点局部过热气泡激发器、系列局部温度传感器和主加热器,并基于两层芯片叠加形成加热器内部温度场的测量,实现了空间和时间上的高精度定位气泡激发。 |
分类号 | 发明授权 |
申请日期 | 2023-04-12 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97449] ![]() |
专题 | 力学研究所_国家微重力实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵建福,杜王芳,刘鹏,等. 可精准实现气泡激发及监测的集成式加热装置的制备方法. CN116660311B. 2024-01-23. |
入库方式: OAI收割
来源:力学研究所
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