激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法
文献类型：专利
| 作者 | 李少霞 ; 张艳梅; 虞钢; 田崇鑫; 何秀丽
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| 发表日期 | 2024-01-26 |
| 专利号 | CN116872635B |
| 著作权人 | 广东空天科技研究院(南沙) ; 中国科学院力学研究所 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法,包括首先制备出25微米以下的均匀导电浆料薄膜层；控制间隙与薄膜厚度比值小于或等于2；利用扩束准直镜和远心场镜将激光光斑直径调节至略小于或接近薄层浆料厚度,并聚焦在浆料薄膜表面；通过高性能高速振镜,匹配高重复频率、高速度实现高搭接率激光光束的扫描；自动分离透明基体和已印刷硅片,对已印刷硅片完成烘干烧结,直接成形出线宽小于30微米、高宽比大于0.4的连续栅线。本发明能够成形出小线宽、大高宽比的栅线,同时降低成本提高效率。 |
| 分类号 | 发明授权 |
| 申请日期 | 2023-07-05 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97442]  |
| 专题 | 宽域飞行工程科学与应用中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李少霞,张艳梅,虞钢,等. 激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法. CN116872635B. 2024-01-26. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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