下开平动式直拉单晶炉
文献类型：专利
| 作者 | 钟兴儒; 田金法; 吴金良; 林兰英; 陈诺夫
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| 发表日期 | 2000-03-29 |
| 专利号 | CN2371202Y |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 ; 中国科学院力学研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 英文摘要 | 一种下开平动式直拉单晶炉,包括一炉桶、一炉底,其特征在于,一炉体支架,在该炉体支架的上面固接有一炉桶,一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接,一液压系统与炉底连接,该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上;本实用新型与现有技术相比可减少炉桶的工作高度,节省单晶炉占用的场地空间;同时可使单晶炉的操作更方便灵活;其可减轻起重负载;其可减少制造直拉单晶炉的成本。 |
| 分类号 | 实用新型 |
| 申请日期 | 1999-03-16 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99486]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钟兴儒,田金法,吴金良,等. 下开平动式直拉单晶炉. CN2371202Y. 2000-03-29. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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