液相外延水平生长晶体薄膜用的容器
文献类型:专利
作者 | 钟兴儒; 徐自亮; 田金法; 吴金良; 陈诺夫![]() |
发表日期 | 2000-09-20 |
专利号 | CN2397130Y |
著作权人 | 中国科学院力学研究所 ; 中国科学院半导体研究所 |
国家 | 中国 |
英文摘要 | 一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上;本实用新型能够在地面模拟空间生长的液相外延生长容器,用这种容器在地面也能生长出高质量的晶体。 |
分类号 | 实用新型 |
申请日期 | 1999-10-10 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99499] ![]() |
专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 钟兴儒,徐自亮,田金法,等. 液相外延水平生长晶体薄膜用的容器. CN2397130Y. 2000-09-20. |
入库方式: OAI收割
来源:力学研究所
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