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液相外延水平生长晶体薄膜用的容器

文献类型:专利

作者钟兴儒; 徐自亮; 田金法; 吴金良; 陈诺夫
发表日期2000-09-20
专利号CN2397130Y
著作权人中国科学院力学研究所 ; 中国科学院半导体研究所
国家中国
英文摘要一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上;本实用新型能够在地面模拟空间生长的液相外延生长容器,用这种容器在地面也能生长出高质量的晶体。
分类号实用新型
申请日期1999-10-10
状态失效
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99499]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
钟兴儒,徐自亮,田金法,等. 液相外延水平生长晶体薄膜用的容器. CN2397130Y. 2000-09-20.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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