辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针
文献类型：专利
| 作者 | 李成明; 张勇 ; 曹尔妍; 薛明伦
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| 发表日期 | 2001-05-23 |
| 专利号 | CN2431561Y |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 英文摘要 | 本实用新型涉及用于抗污染的采用辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针。该探针包括一不锈钢套管、弹簧和陶瓷管,不锈钢套管套在陶瓷管外,两者密封焊合,并留有小孔;弹簧支撑在不锈钢套管和陶瓷管之间,陶瓷管内穿进探针导线,探针丝末端与导线焊接,探针丝头穿出绝缘陶瓷管的不锈钢套管的前端小孔。在使用时探针表面有污染物时,可通过在探针上施加直流电压溅射去除,从而保证了镀膜质量。 |
| 分类号 | 实用新型 |
| 申请日期 | 2000-07-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99510]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李成明,张勇,曹尔妍,等. 辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针. CN2431561Y. 2001-05-23. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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