一种用于辉光放电表面处理中的等离子体探针诊断装置
文献类型：专利
| 作者 | 李成明; 张勇 ; 曹尔妍; 薛明伦
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| 发表日期 | 2004-02-18 |
| 专利号 | CN1138979C |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 英文摘要 | 本发明涉及采用辉光放电表面处理中等离子体的探针诊断的装置。该装置由不锈钢管套在陶瓷管外，弹簧支撑在不锈钢管和陶瓷管之间，陶瓷管内穿进探针导线，探针头一端与导线焊接，另一端穿出陶瓷管、不锈钢管的前端的小孔的探针，探针伸入在源极和阴极之间的放电等离子体区域中，支撑体的一端固定在真空室壁上，另一端用旋盖固定连接空心推杆，从陶瓷管内穿出的探针导线穿进推杆并穿出，再通过探针电源和伏安特性曲线记录仪连接。 |
| 分类号 | 发明授权 |
| 申请日期 | 2000-07-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99584]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李成明,张勇,曹尔妍,等. 一种用于辉光放电表面处理中的等离子体探针诊断装置. CN1138979C. 2004-02-18. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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