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一种多圆环光束整形器及其制作方法

文献类型:专利

作者虞钢; 聂树真; 郑彩云; 何秀丽; 宁伟键
发表日期2012-02-01
专利号CN101930090B
著作权人中国科学院力学研究所
国家中国
英文摘要本发明公开了一种多圆环光束整形器及其制作方法,包括步骤:(1)根据各个同心圆环的位置和强度比例计算光束整形器输入面上相位分布;(2)根据光束整形器相位数据量化后的参数制作模板;(3)利用模板对基片进行光刻和刻蚀过程,得到所需相位台阶结构,从而制得光束整形器。该光束整形器,包括光束整形器本体,光束整形器本体上有相互对应的光束输入面和光束输出面,光束输入面上设置有多个同心圆环,同心圆环上具有相位台阶结构。如将此光束整形器用于激光热负荷试验中,可用来模拟活塞在实际工作中温度场分布规律。此方法具有成本低、效率高、模拟可靠性高的特点。
分类号发明授权
申请日期2009-06-25
状态失效
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99829]  
专题力学研究所_先进制造工艺力学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
虞钢,聂树真,郑彩云,等. 一种多圆环光束整形器及其制作方法. CN101930090B. 2012-02-01.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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