放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁勖 ; 沈启辉; 邵景珍; 林颖
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2023 |
| 卷号 | 60 |
| 关键词 | laser optics excimer laser technology discharge-pumped deep-ultraviolent 激光光学 准分子激光 放电泵浦 深紫外 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 英文摘要 | 准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源,在多方面具有独特的应用,然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距,存在着“卡脖子”的状况。首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等;其次着重介绍了放电泵浦准分子激光的基本结构和目前实用器件的多项关键技术,主要包括快脉冲激励源、气体放电腔、光学谐振腔等;最后,介绍了放电泵浦准分子激光在工业、医疗、科研等领域目前的主要应用和进展,分析了其中的一些独特的关键技术。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/134713]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁勖,沈启辉,邵景珍,等. 放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用[J]. 激光与光电子学进展,2023,60. |
| APA | 梁勖,沈启辉,邵景珍,&林颖.(2023).放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用.激光与光电子学进展,60. |
| MLA | 梁勖,et al."放电泵浦深紫外准分子激光关键技术与应用".激光与光电子学进展 60(2023). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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