改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究
文献类型：CNKI期刊论文
| 作者 | 王宁; 王静 ; 郑福卫; 武玉民; 侯保荣
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| 发表日期 | 2015-06-15 |
| 出处 | 石油化工高等学校学报
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| 关键词 | 铜基体 类金刚石膜 拉曼光谱 划痕法 耐腐蚀性 |
| 英文摘要 | 类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点,是提高铜耐腐性的理想材料,但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备TixCy过渡层,采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法,通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、划痕实验和电化学实验分析。结果表明,所制备碳膜具有典型的类金刚石结构,膜与基体之间的结合强度大,过渡层碳靶溅射功率为200 W时所制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。 |
| 文献子类 | CNKI期刊论文 |
| 资助机构 | 国家海洋腐蚀防护工程技术研究中心资助(2011FU125X13) |
| 卷 | v.28;No.113期:03页:93-98 |
| 语种 | 中文; |
| 分类号 | TG174.4 |
| ISSN号 | 1006-396X |
| 源URL | [http://ir.qdio.ac.cn/handle/337002/190006]  |
| 专题 | 中国科学院海洋研究所 |
| 作者单位 | 1.青岛科技大学化工学院 2.中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室 3.青岛科技大学化学与分子工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宁,王静,郑福卫,等. 改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：海洋研究所
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