类金刚石膜的沉积方法及应用
文献类型：CNKI期刊论文
| 作者 | 王宁; 王静 ; 武玉民; 侯保荣
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| 发表日期 | 2015-05-25 |
| 出处 | 材料导报
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| 关键词 | 类金刚石(DLC)膜 亚稳态 沉积法 |
| 英文摘要 | 类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。 |
| 文献子类 | CNKI期刊论文 |
| 资助机构 | 山东省自然科学青年基金项目(ZR2011EMQ009) |
| 卷 | v.29期:S1页:207-211 |
| 语种 | 中文; |
| 分类号 | TQ127.11;TB383.2 |
| ISSN号 | 1005-023X |
| 源URL | [http://ir.qdio.ac.cn/handle/337002/190020]  |
| 专题 | 中国科学院海洋研究所 |
| 作者单位 | 1.青岛科技大学化工学院 2.中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宁,王静,武玉民,等. 类金刚石膜的沉积方法及应用. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：海洋研究所
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