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铜基类金刚石膜功能梯度材料作为散热材料的研究

文献类型:CNKI期刊论文

作者王静; 刘贵昌; 李红玲; 侯保荣
发表日期2012-02-10
出处物理学报
关键词铜基体 类金刚石膜 梯度过渡层 热导率
英文摘要随着电子技术、信息产业的发展,Cu在微型散热材料、电子封装材料上应用日益广泛.Cu在应用过程中存在强度低、易氧化、易磨损等缺点.采用等离子体复合沉积技术,在铜基体上制备了Ti/TiC/DLC功能梯度材料,改善铜基体与美金刚石(DLC)膜的结合力,强化了铜的机械性能.瞬态热反射法检测结果表明,DLC功能梯度材料不会影响铜基体的散热效果.
文献子类CNKI期刊论文
v.61期:05页:478-484
语种中文;
分类号TB34
ISSN号1000-3290
源URL[http://ir.qdio.ac.cn/handle/337002/191366]  
专题中国科学院海洋研究所
作者单位1.中国科学院海洋研究所山东省腐蚀科学重点实验室
2.大连理工大学化工与环境生命学部
推荐引用方式
GB/T 7714
王静,刘贵昌,李红玲,等. 铜基类金刚石膜功能梯度材料作为散热材料的研究. 2012.

入库方式: OAI收割

来源:海洋研究所

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