一种F-P标准具平行度检测校准方法
文献类型:专利
作者 | 马琳; 金振宇![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2025-01-07 |
专利号 | ZL202411783866.4 |
著作权人 | 中国科学院云南天文台 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 本发明属于光学领域,本发明公开了一种F‑P标准具平行度检测校准方法,具体是采用带有子孔径的掩膜对法珀标准具的通光孔径进行分割,通过光谱仪同时获取法珀标准具不同区域的光谱曲线,通过比对标准具局部区域光谱曲线的相对偏移,精确测量各局部区域平板间距的差异,实现法珀标准具平行度的检测和实时校准,不需要精密的移动机构、不受光源稳定性和检测环境的影响,测量和校准精度可以达到纳米量级。 |
学科主题 | 物理学 ; 光学 ; 机械工程 ; 仪器仪表技术 ; 光学技术与仪器 |
公开日期 | 2025-01-07 |
申请日期 | 2024-12-06 |
语种 | 中文 |
状态 | 公开 |
源URL | [http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27967] ![]() |
专题 | 天文技术实验室 云南天文台_抚仙湖太阳观测站 |
作者单位 | 中国科学院云南天文台, 650216云南省昆明市官渡区羊方旺396号 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马琳,金振宇,朱瑾,等. 一种F-P标准具平行度检测校准方法. ZL202411783866.4. 2025-01-07. |
入库方式: OAI收割
来源:云南天文台
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。