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一种F-P标准具平行度检测校准方法

文献类型:专利

作者马琳; 金振宇; 朱瑾; 常亮
发表日期2025-01-07
专利号ZL202411783866.4
著作权人中国科学院云南天文台
国家中国
文献子类发明
产权排序1
英文摘要本发明属于光学领域,本发明公开了一种F‑P标准具平行度检测校准方法,具体是采用带有子孔径的掩膜对法珀标准具的通光孔径进行分割,通过光谱仪同时获取法珀标准具不同区域的光谱曲线,通过比对标准具局部区域光谱曲线的相对偏移,精确测量各局部区域平板间距的差异,实现法珀标准具平行度的检测和实时校准,不需要精密的移动机构、不受光源稳定性和检测环境的影响,测量和校准精度可以达到纳米量级。
学科主题物理学 ; 光学 ; 机械工程 ; 仪器仪表技术 ; 光学技术与仪器
公开日期2025-01-07
申请日期2024-12-06
语种中文
状态公开
源URL[http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27967]  
专题天文技术实验室
云南天文台_抚仙湖太阳观测站
作者单位中国科学院云南天文台, 650216云南省昆明市官渡区羊方旺396号
推荐引用方式
GB/T 7714
马琳,金振宇,朱瑾,等. 一种F-P标准具平行度检测校准方法. ZL202411783866.4. 2025-01-07.

入库方式: OAI收割

来源:云南天文台

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