面向冷气推力器的高分辨率低噪声微流量传感器设计与标定
文献类型：期刊论文
| ; | |
| 作者 | 孙博奥; 窦申成; 王小庆; 杨双; 杨超 ; 刘雪峰; 郑福
|
| 刊名 | 空间科学学报
 ; 空间科学学报
|
| 出版日期 | 2025-03-15 ; 2025-03-15 |
| 卷号 | 45期号:02页码:601-611 |
| 关键词 | 微流量 微流量 恒温差 低噪声 高分辨率 冷气推力器 恒温差 低噪声 高分辨率 冷气推力器 |
| ISSN号 | 0254-6124 ; 0254-6124 |
| 英文摘要 | 微流量传感器用于精确测量和控制流经推力器的气体流量,其性能直接影响冷气推力器系统的整体表现.针对当前微流量传感器分辨率低、噪声大和响应时间慢的问题,研制了一种基于恒温差原理的MEMS微流量传感器系统.该传感器采用了4个MEMS铂电阻构成恒温差架构,通过高精度恒温差驱动电路实现温差恒定,经过测温电桥将温度变化信号经过高精度程控放大器输入到24位高精度模数转换器（ADC）进行采样,实现了低噪声和高精度的微流量信号采集.测试结果显示,该微流量传感器在0.05～1 Hz等效输出噪声小于0.126μL·s–1·Hz–1/2,分辨率达到0.06μL·s–1,量程为0～1000μL·s–1,响应时间为1.2 ms.其测量分辨率高、噪声低、响应速度快,为空间引力波探测中的冷气推力器系统提供了关键的技术支持.; 微流量传感器用于精确测量和控制流经推力器的气体流量,其性能直接影响冷气推力器系统的整体表现.针对当前微流量传感器分辨率低、噪声大和响应时间慢的问题,研制了一种基于恒温差原理的MEMS微流量传感器系统.该传感器采用了4个MEMS铂电阻构成恒温差架构,通过高精度恒温差驱动电路实现温差恒定,经过测温电桥将温度变化信号经过高精度程控放大器输入到24位高精度模数转换器（ADC）进行采样,实现了低噪声和高精度的微流量信号采集.测试结果显示,该微流量传感器在0.05～1 Hz等效输出噪声小于0.126μL·s–1·Hz–1/2,分辨率达到0.06μL·s–1,量程为0～1000μL·s–1,响应时间为1.2 ms.其测量分辨率高、噪声低、响应速度快,为空间引力波探测中的冷气推力器系统提供了关键的技术支持. |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:7980468 |
| 资助机构 | 国家重点研发计划项目资助(2023YFF0719801) ; 国家重点研发计划项目资助(2023YFF0719801) |
| 其他责任者 | 郑福 ; 郑福 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/101250]  |
| 专题 | 宽域飞行工程科学与应用中心 |
| 作者单位 | 1.中国科学院国家空间科学中心 2.中国科学院大学 3.中国软件评测中心(工业和信息化部软件与集成电路促进中心) 4.中国科学院力学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙博奥,窦申成,王小庆,等. 面向冷气推力器的高分辨率低噪声微流量传感器设计与标定, 面向冷气推力器的高分辨率低噪声微流量传感器设计与标定[J]. 空间科学学报, 空间科学学报,2025, 2025,45, 45(02):601-611, 601-611. |
| APA | 孙博奥.,窦申成.,王小庆.,杨双.,杨超.,...&郑福.(2025).面向冷气推力器的高分辨率低噪声微流量传感器设计与标定.空间科学学报,45(02),601-611. |
| MLA | 孙博奥,et al."面向冷气推力器的高分辨率低噪声微流量传感器设计与标定".空间科学学报 45.02(2025):601-611. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。