Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张广安
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| 刊名 | 摩擦学学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 27期号:3页码:204-209 |
| 关键词 | 磁控溅射 Al/AlN多层膜 摩擦磨损性能 magnetron sputtering Al/AlN multilayer friction and wear behavior |
| ISSN号 | 1004-0595 |
| 通讯作者 | 吴志国 |
| 中文摘要 | 采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能. 结果表明: 当AlN层较厚时, 薄膜在很短时间内被磨穿; 调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时, 薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时, 薄膜的摩擦系数较低, 但硬度较低的薄膜由于承载能力不够, 不能够保持优良的摩擦磨损性能. |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 甘肃兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室(培育基地)开放课题资助(SKL04001);国家自然科学基金资助项目(60376039) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2821080 |
| 公开日期 | 2013-11-01 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/4153]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张广安. Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2007,27(3):204-209. |
| APA | 张广安.(2007).Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,27(3),204-209. |
| MLA | 张广安."Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 27.3(2007):204-209. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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