一种铂膜热流传感器基底热物性参数检测方法及装置
文献类型：专利
| 作者 | 吴松; 喻江 |
| 发表日期 | 2025-08-29 |
| 专利号 | CN115371941B |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种铂膜热流传感器基底热物性参数检测方法及装置， 步骤S1、利用甘油浴和空气浴进行双标定对照推导出铂膜热流传感器的基底热物性参数的标定表征式， 以消除非均匀薄膜的影响和薄膜表面积的测定不准的影响实现标定精度的提高；步骤S2、在甘油浴和空气浴中利用惠斯顿电桥对待检测的铂膜热流传感器进行电学测量得到基底热物性参数的计算参数， 并将计算参数代入至所述标定表征式中求得待检测的铂膜热流传感器基底热物性参数。本发明消除非均匀薄膜的影响和薄膜表面积的测定不准的影响实现标定精度的提高， 能够保证计算参数测量的准确性， 进一步提高铂膜热流传感器基底热物性参数的标定精度。 |
| 分类号 | 发明授权 |
| 申请日期 | 2022-08-09 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 有效 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/103485]  |
| 专题 | 力学研究所_高温气体动力学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴松,喻江. 一种铂膜热流传感器基底热物性参数检测方法及装置. CN115371941B. 2025-08-29. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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