1.3 GHz高频铜腔磁控溅射镀铌工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马永胜; 段海长; 戴劲; 张沛; 杨雨晨; 何平; 董海义 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2023 |
| 卷号 | 43期号:01页码:29-35 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| DOI | 10.13922/j.cnki.cjvst.202208015 |
| 其他题名 | Niobium Coating by Magnetron Sputtering in 1.3 GHz High Frequency Copper Cavity |
| 源URL | [https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/304816]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马永胜,段海长,戴劲,等. 1.3 GHz高频铜腔磁控溅射镀铌工艺研究[J]. 真空科学与技术学报,2023,43(01):29-35. |
| APA | 马永胜.,段海长.,戴劲.,张沛.,杨雨晨.,...&董海义.(2023).1.3 GHz高频铜腔磁控溅射镀铌工艺研究.真空科学与技术学报,43(01),29-35. |
| MLA | 马永胜,et al."1.3 GHz高频铜腔磁控溅射镀铌工艺研究".真空科学与技术学报 43.01(2023):29-35. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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