本发明公开了一种获得磷灰石的氧同位素和挥发性组分的方法,利用离子探针,建立一种高空间分辨高精度的分析技术,以在同一次分析,同一次采样,同时获得磷灰石的氧同位素和挥发性组分的方法。首先,本发明采用7*7*0.5um的磷灰石样品量,利用纳米离子探针,采用静态分析,无须跳峰,可使磷灰石中的挥发性组分(氟,氯,硫和水)同时进行测定,分析时长短(约2min),稳定性高(无须跳峰),精度高等特征。本发明可使氧同位素与挥发性组分同时获得,改变了以往在不同颗粒或同一颗粒的不同位置,先用电子探针测定挥发性组分再用离子探针测氧同位素的方案,不仅大大提高了效率,更重要的是在同一个区域,同一个剥蚀量上获得,极大提高了数据质量和可靠性。