A Fully Automatic High-Resolution EUV Monochromator for EUV metrology applications
文献类型：会议论文
| 作者 | Cui JF(崔峻烽)2,3,4; Meng RY(孟润宇)2,3,4; Zhao, Bianli1,4; Yang, Hao4; Chen, Jianhui4; Zhang, Xiaoshi3,4 |
| 出版日期 | 2024 |
| 会议日期 | 2024-05-05 |
| 会议地点 | Charlotte, NC |
| DOI | 10.1109/CLEO-PR60912.2024.10676889 |
| 英文摘要 | We develop a fully automatic EUV monochromator, and demonstrate real-time wavelength tuning and in-situ and in-line spectrum measurement. This is an ideal tool for EUV metrology applications. |
| 产权排序 | 第2完成单位 |
| 资助机构 | N/A |
| 会议录 | Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics - 2024 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS PACIFIC RIM, CLEO-PR
 |
| 会议录出版者 | IEEE |
| 文献子类 | Proceedings Paper |
| 学科主题 | 物理学 ; 光学 ; 天文学 ; 天文学其他学科 ; 机械工程 ; 仪器仪表技术 ; 光学技术与仪器 |
| 会议录出版地 | 345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA |
| 语种 | 英语 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 资助项目 | N/A |
| ISSN号 | 2997-7053 |
| WOS研究方向 | Engineering ; Materials Science ; Optics ; Physics |
| ISBN号 | 979-8-3503-7207-6 |
| WOS记录号 | WOS:001532172700470 |
| 源URL | [http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/28702]  |
| 专题 | 云南天文台_应用天文研究组 |
| 通讯作者 | Zhang, Xiaoshi |
| 作者单位 | 1.Southwest United Graduate School, Kunming, Yunnan, China 2.Yunnan Astronomical Observatory, Chinese Academy of Sciences, Kunming, Yunnan, China; 3.University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China; 4.School of Physics and Astronomy, Yunnan University, Kunming, Yunnan, China; |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Cui JF,Meng RY,Zhao, Bianli,et al. A Fully Automatic High-Resolution EUV Monochromator for EUV metrology applications[C]. 见:. Charlotte, NC. 2024-05-05. |
入库方式： OAI收割
来源：云南天文台
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