高精度视频图像对准系统研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨维全 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 导师 | 陈伟明 |
| 关键词 | 数字图像处理 改进的亚像素定位 VC＋＋编程 光刻机对准系统 |
| 中文摘要 | 掩模－硅片对准是光刻机的三大核心技术（物镜、对准、工件台）之一，视频图像对准不仅在发展的光学刻（投影式和接触接近式）中有广泛的应用前景，而且在今后的X射线光刻机中也将是最理想的对准方式。本文提出了高精度视频图像对准系统的软、硬件解决方案，并在接触接近式深紫外光刻机URE－2000A上得到了成功应用，其对准精度远远超过系统要求指标，可以满足亚微米光刻机的要求。本文着重讨论高精度数字图像对准系统的数字图像处理算法及其软件实现，在算法研究中，提出了新的改进的亚像素精确定位算法，有效提高了定位精度。并叙述了使用Visual C~(++)实现可共享的的数字图像处理的动态连接库（DLL）。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-11-19 |
| 页码 | 83 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/50]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨维全. 高精度视频图像对准系统研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 2000. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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