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能动变形反射镜的纳米级驱动技术研究

文献类型:学位论文

作者王皓
学位类别硕士
答辩日期2001
授予单位中国科学院光电技术研究所
授予地点中国科学院光电技术研究所
导师凌宁
关键词驱动器 纳米驱动技术 压电陶瓷 能动变形反射镜 能动光学
中文摘要能动光学技术是以校正大型天文望远镜系统、大型激光系统中光学波前误差为研究目的的新兴学科;能动变形反射镜的面形驱动技术是其中的关键,该技术需要具备十纳米量级的位移分辨力、较大的驱动力、足够的行程、可自锁等性能。本论文的主要任务是对能动变形反射镜中的纳米驱动技术进行研究。在已有纳米驱动技术成果的基础上,研制出了基于惯性滑移驱动器的性能满足论文课题提出的技术指标。为了适应更高的技术要求,进一步研制出了一种液力放大器,与上述驱动器组装成复式驱动器;复式驱动器具有更大的驱动力、更高的位移分辨力。此外,研制出了采用惯性滑移式驱动器进行七点驱动的能动变形反射镜样镜;在此基础上,对驱动器在能动变形反射镜中的应用结构进行了初步探索。
语种中文
公开日期2013-11-19
页码64
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/75]  
专题光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文
推荐引用方式
GB/T 7714
王皓. 能动变形反射镜的纳米级驱动技术研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 2001.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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