光刻机对准数据的校正方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 郭黎 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1996-06 |
| 授予单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 导师 | 江天水 |
| 关键词 | 分步重复投影光刻机 掩模对准 基准校正 对准 |
| 其他题名 | The Study of Adjustment Approach about the Stepper's Alignment Data |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-11-19 |
| 页码 | 77 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/119]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭黎. 光刻机对准数据的校正方法研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 1996. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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