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激光直写系统辅助图形编辑软件的研究

文献类型:学位论文

作者白临波
学位类别硕士
答辩日期1997-06
授予单位中国科学院光电技术研究所
授予地点中国科学院光电技术研究所
导师孙国良
关键词激光直写系统 衍射光学元件 MASK软件 CIF文件格式
语种中文
公开日期2013-11-19
页码51
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/126]  
专题光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文
推荐引用方式
GB/T 7714
白临波. 激光直写系统辅助图形编辑软件的研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 1997.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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