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准分子激光光刻相移掩模的智能设计研究

文献类型:学位论文

作者扬代明
学位类别硕士
答辩日期1998-06
授予单位中国科学院光电技术研究所
授予地点中国科学院光电技术研究所
导师冯伯儒
关键词准分子激光 相移掩模 专家系统 部分相干成像
语种中文
公开日期2013-11-19
页码52
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/135]  
专题光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文
推荐引用方式
GB/T 7714
扬代明. 准分子激光光刻相移掩模的智能设计研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 1998.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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