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低损耗中红外薄膜的研究

文献类型:学位论文

作者林大伟
学位类别硕士
答辩日期2008-06-11
授予单位中国科学院光电技术研究所
授予地点光电技术研究所
导师熊胜明
关键词损耗 中红外 高反膜 有限元
其他题名Research On Extreme Low Loss Mid-infrared Reflecting Film
学位专业光学
中文摘要在高功率激光系统中,光学元件特别是光学薄膜是激光损伤最薄弱的环节,是限制激光系统向高功率发展的重要因素,是激光系统设计的重要依据和重大限制,因此,研究薄膜的损耗,不断减少薄膜的损耗,提高薄膜的损伤阈值,对研制和发展高能激光系统有重要意义。 本文首先探讨了薄膜损耗的类型及理论计算,总结了制备中红外薄膜常用材料的性质。重点研究了基板温度、蒸发速率对中红外强激光薄膜材料性质的影响,考察了薄膜的成份、晶体结构,对薄膜的制备工艺具有一定的指导意义;研究了蒸气入射角度对薄膜折射率、堆积密度的影响,发现在满足膜层均匀性的前提下应尽量采用较小的蒸气入射角;采用ZnSe、YbF3为镀膜材料制备了反射率稳定在99.9%以上的中红外高反射膜,薄膜的损耗小于之前采用ZnS、YbF3为镀膜材料制备的高反射膜;采用有限元方法仿真了薄膜的吸收引起的温升情况,与实际测量吻合较好。 最后,对本文的工作作了总结,指出了研究中存在的问题和不足,对以后的进一步研究工作提出了建议。
语种中文
公开日期2013-11-19
页码77
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/237]  
专题光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文
推荐引用方式
GB/T 7714
林大伟. 低损耗中红外薄膜的研究[D]. 光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 2008.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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