多晶硅冷却过程中入口流速及隔热底板运动对硅锭内热应力影响
文献类型：会议论文
| 作者 | 王森 ; 张全江 ; 田俊 ; 方海生 |
| 出版日期 | 2013 |
| 会议名称 | 中国工程热物理学会-传热传质 |
| 会议日期 | 2013 |
| 关键词 | 多晶硅 冯米斯力 位错密度 面积百分比 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/85549]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王森,张全江,田俊,等. 多晶硅冷却过程中入口流速及隔热底板运动对硅锭内热应力影响[C]. 见:中国工程热物理学会-传热传质. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。