薄膜制备的喷雾热分解方法
文献类型：专利
| 作者 | 宋世庚,武光明 |
| 发表日期 | 2001-11-07 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL98119488.5 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种薄膜制备的喷雾热分解方法，该方法首先配制所需金属盐溶液，然后经过压缩空气雾化器，使溶液雾化，在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中，雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比，具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜，同时雾化时不发热，而且雾量稳定，不需冷却装置。该方法可制备金属氧化物薄膜。 |
| 公开日期 | 2013-11-27 |
| 申请日期 | 1998-10-14 |
| 专利申请号 | 98119488.5 |
| 源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/3201]  |
| 专题 | 新疆理化技术研究所_中国科学院新疆理化技术研究所(2002年以前数据) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋世庚,武光明. 薄膜制备的喷雾热分解方法. ZL98119488.5. 2001-11-07. |
入库方式： OAI收割
来源：新疆理化技术研究所
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