具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件)
文献类型：专利
| 作者 | 宋世庚 ; 陶明德 ; 吴关炎 ; 丛秀云 |
| 发表日期 | 2003-02-12 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL98124283.9 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器（Ｆ元件），该元件是用单面抛光的Ｎ型Ｓｉ片制作，ＳＩ片电阻率在４０到２００Ωｃｍ之间，其流程包括：氧化、光刻、硼预淀积、硼再分布和氧化、光刻、磷预淀积、磷再分布和氧化、刻引线孔、蒸铝、反刻铝、铝合金化、背面镀镍、划片、粘片、焊线、封装等。该元件制作工艺简单，成本低，应用方便，抗干扰能力强，适合于长距离传输。 |
| 公开日期 | 2013-11-27 |
| 申请日期 | 1998-11-28 |
| 专利申请号 | 98124283.9 |
| 源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/3203]  |
| 专题 | 新疆理化技术研究所_中国科学院新疆理化技术研究所(2002年以前数据) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋世庚,陶明德,吴关炎,等. 具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件). ZL98124283.9. 2003-02-12. |
入库方式： OAI收割
来源：新疆理化技术研究所
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