调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吕艳红; 吉利 ; 刘流; 李红轩; 刘晓红; 陈建敏; 周惠娣
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| 刊名 | 中国表面工程
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 26期号:5页码:18-23 |
| 关键词 | 磁控溅射 CrAl/CrAlN 多层薄膜 微观结构 耐腐蚀性能 magnetron sputtering multi-layer films miscrostructure corrosion resistance |
| ISSN号 | 1007-9289 |
| 通讯作者 | 李红轩 |
| 中文摘要 | 采用中频非平衡磁控溅射技术制备ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ多层薄膜，研究了调制周期对ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ 多层薄膜的微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响。研究表明：ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ 多层薄膜具有致密的层状结构。随着调制周期的增大，薄膜应力由拉应力转变为压应力，当调制周期为２８５.７ｎｍ时，ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ多层薄膜的硬度出现了极大值。此外，调制周期对薄膜的耐腐蚀性能有显著的影响。经过９６ｈ盐雾（３.５％ＮａＣｌ）试验，调制周期为１４２.８ｎｍ的ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ多层薄膜依然没有发生腐蚀现象，表明此条件下ＣｒＡｌ／ＣｒＡｌＮ薄膜具有优异的耐腐蚀性能。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金(50705093);创新群体基金(50421502);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2007CB607601) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4966343 |
| 公开日期 | 2013-12-10 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/4586]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕艳红,吉利,刘流,等. 调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响[J]. 中国表面工程,2013,26(5):18-23. |
| APA | 吕艳红.,吉利.,刘流.,李红轩.,刘晓红.,...&周惠娣.(2013).调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响.中国表面工程,26(5),18-23. |
| MLA | 吕艳红,et al."调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响".中国表面工程 26.5(2013):18-23. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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