弧矢聚焦双晶单色器晶面扭曲问题研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 余盛辉 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2013-04 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 薛松 |
| 关键词 | 弧矢聚焦双晶单色器 晶面扭曲 有限元方法 |
| 其他题名 | A study on crystal twist of a sagittaly focusing double-crystal monochromator |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 本文从晶体衍射聚焦和晶体压弯的原理出发，研究了单色器的结构组成与光斑畸变状况，根据实际工程情况，分析了可能造成晶面扭曲的原因。然后利用有限元仿真方法，在ANSYS软件中建立有限元模型，定量模拟分析了晶体压弯过程中晶体切割边界、倾斜肋边、不均匀夹持等因素对晶面扭曲造成的影响，研究结果显示，不均匀夹持是造成晶面扭曲的主要原因，可以通过减小晶体与晶体座凹槽的尺寸间隙显著减轻扭曲状况；晶体切割边界对晶面扭曲有一定影响，可以通过优化切割晶向排除这一因素的干扰；加工精度范围内的倾斜肋边对晶面扭曲几乎没有影响，可以忽略。最后再进一步地从系统优化的角度上，对夹持方式和晶体尺寸的影响进行了研究，研究发现横向夹持对不均匀夹持更为敏感，不适合作为改进方案；晶体尺寸优化方面，晶体厚度的影响相对较大，可以通过适当减小厚度以抑制晶面扭曲。 本文的创新点在于利用各向异性有限元模型模拟硅晶体的压弯过程，定量分析了几种可能造成晶面扭曲的原因，研究了晶体尺寸参数对晶面扭曲的影响，为弧矢聚焦双晶单色器的优化设计提供参考。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-12-06 |
| 页码 | 60 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13400]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余盛辉. 弧矢聚焦双晶单色器晶面扭曲问题研究[D]. 中国科学院研究生院. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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