直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑建云 ; 郝俊英; 刘小强; 龚秋雨; 刘维民
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| 刊名 | 摩擦学学报
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 33期号:1页码:85-90 |
| 关键词 | 直流磁控溅射 TiAlCN薄膜 微观结构 硬度 摩擦行为 direct current magnetron sputtering TiAlCN films microstructure hardness tribological behaviours |
| ISSN号 | 1004-0595 |
| 通讯作者 | 郝俊英 |
| 中文摘要 | 采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜，研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响．研究表明：随着直流电流的增加，薄膜中C元素含量逐渐降低；薄膜中无定形碳含量减少，而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加．另外，在低于3.0 A直流电流范围内薄膜的表面粗糙度无明显变化，而当直流电流高于3.0 A时，薄膜的表面粗糙度随直流电流的增加而显著上升．随着直流电流的增大，薄膜的硬度先增加后降低，而薄膜的摩擦系数则先降低后升高．在直流电流为3.5 A时，薄膜的硬度和摩擦系数分别约为22.2 GPa和0.16． |
| 收录类别 | EI&CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金(50905177) |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-12-18 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/4768]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑建云,郝俊英,刘小强,等. 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究[J]. 摩擦学学报,2013,33(1):85-90. |
| APA | 郑建云,郝俊英,刘小强,龚秋雨,&刘维民.(2013).直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究.摩擦学学报,33(1),85-90. |
| MLA | 郑建云,et al."直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究".摩擦学学报 33.1(2013):85-90. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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