采用中频磁控溅射技术，以Ｗ、Ａｌ复合靶（面积比为１∶１）为靶材，在氩气和甲烷混合气体中于ｎ（１００）型单晶硅表面沉积了一系列Ａｌ、Ｗ共掺杂含氢非晶碳［ａ－Ｃ∶Ｈ（Ａｌ，Ｗ）］薄膜．分析了不同甲烷流量对薄膜成分、结构和表面形貌的影响，并表征了薄膜的力学性能和摩擦磨损行为．结果表明：随着甲烷流量的增加，薄膜中Ｃ含量呈上升趋势，而Ｗ和Ａｌ含量均呈现递减趋势，过高流量的ＣＨ_４会导致金属靶材中毒．薄膜中的ｓｐ^２Ｃ和ｓｐ^３Ｃ含量受Ｗ、Ａｌ以及Ｈ注入效应的共同影响．所制备的薄膜表面均较为平滑，表面粗糙度（ＲＭＳ）在０.３９～０.４８ｎｍ范围内．薄膜的纳米硬度（Ｈ）在９.９８～１１.３７ＧＰａ之间，弹性模量（Ｅ）介于７１～９３.３６ＧＰａ之间，弹性恢复系数均在７０％以上．当薄膜中Ｗ和Ａｌ的原子百分含量分别为３．７４％和２．３７％时，Ｈ／Ｅ值和Ｈ^３／Ｅ^２值分别为０.１４１和０.１９８，且此时薄膜在大气环境下表现出较好的减摩抗磨性能．薄膜具有适度的ｓｐ^３Ｃ／ｓｐ^２Ｃ比值、优异的弹性形变性能、摩擦过程中对偶球表面形成连续而致密的转移层等因素是薄膜具有良好摩擦学性能的重要原因．