一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 吕鹏辉 ; 方前锋 ; 倪浩明 ; 刘 庆 ; 汪爱英 |
| 发表日期 | 2009-06-10 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种多层硬质薄膜的制备方法，该法包括以下步骤：(1)将衬底基片 表面进行打磨、清洗、烘干；(2)将清洗好的衬底基片置于真空室里，将真空室抽真空； (3)打开加热电源，将衬底基片加热，往真空室内通入溅射气体氩气，调整镀膜功率， 对衬底基片进行第一层溅射沉积；(4)经过第一设定时间沉积后，选择第二时间内的状 态或者反应参数设置，或打开反应气体氮气，或在通入反应气体的情况下：改变真空室 内总气压，或改变原来衬底温度，或改变反应气体与溅射气体的比率；(5)程序降温退 火。本发明采用单靶磁控溅射仪制备纳米复合多层硬质薄膜，降低了对合成设备的要求， 不需要使样品台转动的机械设备，减少了对环境的噪音污染和生产成本。 |
| 公开日期 | 2013-12-16 |
| 专利申请号 | CN200810162316.5 |
| 专利代理 | 袁忠卫 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/10294]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕鹏辉,方前锋,倪浩明,等. 一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法, 一种纳米复合多层硬质薄膜制备方法. 2009-06-10. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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