一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 冯泉妤 ; 黄金华 ; 张宇龙 ; 杨晔 ; 宋伟杰 |
| 发表日期 | 2011-10-19 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开了一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10-3～1×10-4Pa，溅射气体的压力为0.2～1.5Pa，衬底温度为150～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。该方法工艺简单，生产成本低，适于大规模工业化生产；制备的薄膜厚度为300～1200nm，绒度在3％～10％，方块电阻在5～50Ω/□，粗糙度在10～50nm，具有较高的绒度，较高的表面粗糙度和优良的电光学性能，适合于薄膜太阳电池的制备，可以提高太阳电池的光电转换效率。 |
| 公开日期 | 2013-12-16 |
| 专利申请号 | CN201110116568.6 |
| 专利代理 | 刘诚午 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/10556]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯泉妤,黄金华,张宇龙,等. 一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法, 一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法. 2011-10-19. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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