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衬底负偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 代伟 ; 吴国松 ; 孙丽丽 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 材料研究学报
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 23期号:6页码:598-603 |
| 关键词 | 无机非金属材料 线性离子束 DLC薄膜 微结构 力学性能 摩擦性能 |
| 合作状况 | 国内 |
| 中文摘要 | 采用一种新型线性离子束PVD技术制备出大面积类金刚石薄膜(DLC膜), 研究了衬底负偏压对薄膜微结构和物性的影响. 结果表明: 制备出的类金刚石薄膜在300 mm×100 mm 范围内纵向厚度均方差约10--12 nm, 横向薄膜厚度均方差约2--4 nm. 随着衬底偏压的提高, 薄膜中sp3键的含量先增加后减小, 在衬底偏压为-100 V时sp3键的含量最大; DLC膜的残余应力、硬度和弹性模量与sp3键的含量呈近似线性的关系, 在衬底偏压为-100 V时其最大值分别为3.1 GPa、26 GPa和230 GPa. DLC薄膜的摩擦学性能与薄膜中sp3碳杂化键的含量密切相关, 但是受衬底偏压的影响不大, 其摩擦系数大多小于0.25. 偏压对磨损的影响很大, 在偏压比较低(0− -200 V)时, 薄膜的磨损率约为10-8 mm3/Nm, 偏压升高到300 V磨损率急剧提高到10-7 mm3/Nm. |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-01-07 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/233]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代伟,吴国松,孙丽丽,等. 衬底负偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响[J]. 材料研究学报,2009,23(6):598-603. |
| APA | 代伟,吴国松,孙丽丽,&汪爱英.(2009).衬底负偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响.材料研究学报,23(6),598-603. |
| MLA | 代伟,et al."衬底负偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响".材料研究学报 23.6(2009):598-603. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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