直流反应磁控溅射CrNX 功能装饰涂层的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张 栋 ; 孙丽丽 ; 郑 贺 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 中国表面工程
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 3 |
| 关键词 | 反应磁控溅射 CrNX 耐磨性 |
| 合作状况 | 其它 |
| 中文摘要 | 采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX 膜，观察薄膜颜色的变化，采用球盘式摩擦磨损仪、台阶 仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能，并采用X 射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌。 研究结果表明，随着氮气含量的增加，薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色，薄膜相结构由单相Cr2N 转变为Cr2N 和CrN 混合相继而转变为单相CrN，当氮气流量为20 cm3∙min-1 以及30 cm3∙min-1 时薄膜表现出良好的耐磨性。采用 高氮气流量的工艺镀中间层，低氮气流量的工艺镀表面层，复合薄膜的耐磨性大幅度提高，同时能够获得美观的银 灰色外观。 |
| 收录类别 | 其它 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-07-22 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/545]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张 栋,孙丽丽,郑 贺,等. 直流反应磁控溅射CrNX 功能装饰涂层的研究[J]. 中国表面工程,2010(3). |
| APA | 张 栋,孙丽丽,郑 贺,&汪爱英.(2010).直流反应磁控溅射CrNX 功能装饰涂层的研究.中国表面工程(3). |
| MLA | 张 栋,et al."直流反应磁控溅射CrNX 功能装饰涂层的研究".中国表面工程 .3(2010). |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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