负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响
文献类型：会议论文
| 作者 | 代伟 ; 汪爱英 ; 徐采云 ; 吴国松 ; 孙丽丽 |
| 出版日期 | 2008 |
| 会议名称 | 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛 |
| 会议地点 | 武汉 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 |
| 页码 | 122-125 |
| 中文摘要 | 本文采用线性离子束来制备DLC薄膜,并研究偏压对DLC膜结构和性能的影响。研究表明,随偏压增加,薄膜残余应力和力学性能呈相似的变化趋势,先增加后减小,但残余应力在-100V最大,而硬度和附着力在-200V最大。Raman结果显示,薄膜残余应力主要与C-Csp3键含量有关.而薄膜硬度除受sp3键含量影响外,还可能与薄膜致密度有关。 |
| 收录类别 | 其它 |
| 会议主办者 | 中国机械工程学会 |
| 会议录 | 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/1340]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代伟,汪爱英,徐采云,等. 负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响[C]. 见:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛. 武汉. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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