类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 李爱魁 ; 汪爱英 ; 孙丽丽 ; 徐采云 |
| 出版日期 | 2008 |
| 会议名称 | 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛 |
| 会议地点 | 武汉 |
| 关键词 | 激光毛化 |
| 页码 | 119-121 |
| 中文摘要 | 利用线性离子束沉积技术在单晶硅衬底表面制备类金刚石(DLC)薄膜,采用波长为1070 nm的连续光纤激光器扫描DLC薄膜,研究了激光功率密度和薄膜成分对薄膜刻蚀工艺的影响,表征了激光刻蚀区薄膜的表面形貌和截面轮廓。结果表明,在薄膜的激光毛化工艺中存在激光损伤阈值和刻蚀阈值,当激光能量在激光损伤阈值和刻蚀阈值之间时,DLC薄膜的可见光透过率下降,密度变小；当激光能量大于刻蚀阈值时才能完成DLC薄膜的表面毛化。同时,含氢DLC薄膜的激光刻蚀阈值较小。 |
| 收录类别 | 其它 |
| 会议主办者 | 中国机械工程学会 |
| 会议录 | 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/1342]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李爱魁,汪爱英,孙丽丽,等. 类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究[C]. 见:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛. 武汉. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。