氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪爱英 ; 蔡 建1 杨 巍1 柯培玲1 汪爱英1* 方 勇2 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2012-08-01 |
| 期号 | 8页码:740—745 |
| 通讯作者 | 汪爱英 |
| 合作状况 | 李雨桐 |
| 中文摘要 | 利用自主研制的45b单弯曲阴极电弧沉积系统, 通过改变Ar 流量( 2, 5 以及10 ml/ min) , 在p 型( 100) 硅基底上制备 了四面体非晶碳膜。借助表面轮廓仪测定薄膜厚度和粗糙度变化; 采用X 射线光电子谱获得薄膜微结构信息, 利用残余应力 仪和摩擦磨损试验机测定薄膜的内应力和摩擦学性能。实验结果表明: 随Ar 流量增加, 薄膜的沉积速率降低, 表面趋于光滑; 薄膜中sp 3 含量由2 ml/ min 时的68%下降至10 ml/ min 时的55%; 薄膜应力值随Ar 流量的增大而减小, 在10 ml/ min 处取得最 小值; 不同Ar 流量条件下所制备薄膜的摩擦系数在01024~ 01045 之间, 且随Ar 流量增加而增大 |
| 学科主题 | 材料科学 |
| 原文出处 | SCI收录 |
| 公开日期 | 2013-12-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/9675]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英,蔡 建1 杨 巍1 柯培玲1 汪爱英1* 方 勇2. 氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2012(8):740—745. |
| APA | 汪爱英,&蔡 建1 杨 巍1 柯培玲1 汪爱英1* 方 勇2.(2012).氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响.真空科学与技术学报(8),740—745. |
| MLA | 汪爱英,et al."氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响".真空科学与技术学报 .8(2012):740—745. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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