离子束辅助磁控溅射沉积ＣｒＮｘ薄膜结构以及力学性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪爱英 ; 张栋 孙丽丽王振玉柯培玲汪爱英 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2013-12-01 |
| 期号 | 12页码:1—5 |
| 通讯作者 | 汪爱英 |
| 合作状况 | 李雨桐 |
| 学科主题 | 材料科学 |
| 原文出处 | SCI收录 |
| 公开日期 | 2013-12-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/10103]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英,张栋 孙丽丽王振玉柯培玲汪爱英. 离子束辅助磁控溅射沉积ＣｒＮｘ薄膜结构以及力学性能研究[J]. 真空科学与技术学报,2013(12):1—5. |
| APA | 汪爱英,&张栋 孙丽丽王振玉柯培玲汪爱英.(2013).离子束辅助磁控溅射沉积ＣｒＮｘ薄膜结构以及力学性能研究.真空科学与技术学报(12),1—5. |
| MLA | 汪爱英,et al."离子束辅助磁控溅射沉积ＣｒＮｘ薄膜结构以及力学性能研究".真空科学与技术学报 .12(2013):1—5. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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