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低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

文献类型:期刊论文

作者高晓明; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 伏彦龙; 杨军; 谭洪根; 张良俊
刊名机械工程材料
出版日期2013
卷号37期号:11页码:55-59
关键词低温沉积 银铜薄膜 耐原子氧性能 low temperature deposition Ag-Cu film AO resistant behavior
ISSN号1000-3738
中文摘要采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。
收录类别CSCD
资助信息国家自然科学基金项目(50301015;51227804)
语种中文
CSCD记录号CSCD:5008149
公开日期2013-12-27
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/4925]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
高晓明,孙嘉奕,胡明,等. 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能[J]. 机械工程材料,2013,37(11):55-59.
APA 高晓明.,孙嘉奕.,胡明.,翁立军.,伏彦龙.,...&张良俊.(2013).低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能.机械工程材料,37(11),55-59.
MLA 高晓明,et al."低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能".机械工程材料 37.11(2013):55-59.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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