沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高晓明 ; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 伏彦龙; 杨军; 谭洪根
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| 刊名 | 机械工程材料
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 37期号:10页码:44-49 |
| 关键词 | 低温沉积 钛薄膜 物相结构 性能 low temperature deposition Ti film phase structure property |
| ISSN号 | 1000-3738 |
| 中文摘要 | 采用多弧离子镀方法在低温（166 K）、室温（300 K）以及不同氩气压力（0.2～0.8 Pa）条件下沉积钛薄膜，通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究。结果表明：不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构；在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相，因而具有较高的显微硬度，同时还表现出良好的膜基结合性能，比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层，以改善膜基结合性能和承载能力。 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金项目(50301015;21173243) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4999602 |
| 公开日期 | 2013-12-27 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/4926]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高晓明,孙嘉奕,胡明,等. 沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响[J]. 机械工程材料,2013,37(10):44-49. |
| APA | 高晓明.,孙嘉奕.,胡明.,翁立军.,伏彦龙.,...&谭洪根.(2013).沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响.机械工程材料,37(10),44-49. |
| MLA | 高晓明,et al."沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响".机械工程材料 37.10(2013):44-49. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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