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~(19)F~+离子注入Pb_(1-x)Sn_xTe,CdTe和Si材料中氟的深度分布研究

文献类型:期刊论文

作者夏日源 ; 谭春雨 ; 杨洪 ; 胡燮荣 ; 陈立信 ; 王宜华 ; 孙秀芳 ; 郑宗爽 ; 章其初 ; 朱沛然 ; 刘家瑞
刊名半导体学报
出版日期1988
期号1页码:74-81
公开日期2013-09-17
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/32585]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
夏日源,谭春雨,杨洪,等. ~(19)F~+离子注入Pb_(1-x)Sn_xTe,CdTe和Si材料中氟的深度分布研究[J]. 半导体学报,1988(1):74-81.
APA 夏日源.,谭春雨.,杨洪.,胡燮荣.,陈立信.,...&刘家瑞.(1988).~(19)F~+离子注入Pb_(1-x)Sn_xTe,CdTe和Si材料中氟的深度分布研究.半导体学报(1),74-81.
MLA 夏日源,et al."~(19)F~+离子注入Pb_(1-x)Sn_xTe,CdTe和Si材料中氟的深度分布研究".半导体学报 .1(1988):74-81.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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