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纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术

文献类型:期刊论文

作者梁迎新 ; 王太宏
刊名微纳电子技术
出版日期2003
卷号40期号:4页码:2-7
公开日期2013-09-22
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/42587]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
梁迎新,王太宏. 纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术[J]. 微纳电子技术,2003,40(4):2-7.
APA 梁迎新,&王太宏.(2003).纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术.微纳电子技术,40(4),2-7.
MLA 梁迎新,et al."纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术".微纳电子技术 40.4(2003):2-7.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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