射频输入功率对类金刚石薄膜性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 齐海成 ; 冯克成 ; 杨思泽 |
| 刊名 | 表面技术
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 3页码:41-43+60 |
| 公开日期 | 2013-09-22 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/42928]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐海成,冯克成,杨思泽. 射频输入功率对类金刚石薄膜性能的影响[J]. 表面技术,2009(3):41-43+60. |
| APA | 齐海成,冯克成,&杨思泽.(2009).射频输入功率对类金刚石薄膜性能的影响.表面技术(3),41-43+60. |
| MLA | 齐海成,et al."射频输入功率对类金刚石薄膜性能的影响".表面技术 .3(2009):41-43+60. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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