湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 崔秀芝 ; 张天冲 ; 梅增霞 ; 刘章龙 ; 刘尧平 ; 郭阳 ; 苏希玉 ; 薛其坤 ; 杜小龙 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 1页码:309-314 |
| 公开日期 | 2013-09-22 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/42965]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔秀芝,张天冲,梅增霞,等. 湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响[J]. 物理学报,2009(1):309-314. |
| APA | 崔秀芝.,张天冲.,梅增霞.,刘章龙.,刘尧平.,...&杜小龙.(2009).湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响.物理学报(1),309-314. |
| MLA | 崔秀芝,et al."湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响".物理学报 .1(2009):309-314. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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