吸气溅射装置
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蒙如玲 ; 陈桂玉 ; 赵柏儒 ; 郭树权 ; 李林 ; 陈岚峰 |
| 刊名 | 低温物理
 |
| 出版日期 | 1980 |
| 期号 | 4页码:268-272 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-22 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/43536]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒙如玲,陈桂玉,赵柏儒,等. 吸气溅射装置[J]. 低温物理,1980(4):268-272. |
| APA | 蒙如玲,陈桂玉,赵柏儒,郭树权,李林,&陈岚峰.(1980).吸气溅射装置.低温物理(4),268-272. |
| MLA | 蒙如玲,et al."吸气溅射装置".低温物理 .4(1980):268-272. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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