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稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究

文献类型:期刊论文

作者李岱青 ; 任廷琦 ; 万亚 ; 宫宝安 ; 徐天冰
刊名青岛大学学报(自然科学版)
出版日期1994
期号3页码:71-76
语种中文
公开日期2013-09-22
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/43544]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
李岱青,任廷琦,万亚,等. 稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究[J]. 青岛大学学报(自然科学版),1994(3):71-76.
APA 李岱青,任廷琦,万亚,宫宝安,&徐天冰.(1994).稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究.青岛大学学报(自然科学版)(3),71-76.
MLA 李岱青,et al."稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究".青岛大学学报(自然科学版) .3(1994):71-76.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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