稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究
文献类型:期刊论文
作者 | 李岱青 ; 任廷琦 ; 万亚 ; 宫宝安 ; 徐天冰 |
刊名 | 青岛大学学报(自然科学版)
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出版日期 | 1994 |
期号 | 3页码:71-76 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-09-22 |
源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/43544] ![]() |
专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李岱青,任廷琦,万亚,等. 稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究[J]. 青岛大学学报(自然科学版),1994(3):71-76. |
APA | 李岱青,任廷琦,万亚,宫宝安,&徐天冰.(1994).稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究.青岛大学学报(自然科学版)(3),71-76. |
MLA | 李岱青,et al."稀土Yb~+注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究".青岛大学学报(自然科学版) .3(1994):71-76. |
入库方式: OAI收割
来源:物理研究所
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