亚原子单层膜的蒸镀及厚度计算
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谢侃 ; 孟革 ; 齐上雪 |
| 刊名 | 真空科学与技术
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| 出版日期 | 1991 |
| 期号 | 1页码:61-64 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/43753]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢侃,孟革,齐上雪. 亚原子单层膜的蒸镀及厚度计算[J]. 真空科学与技术,1991(1):61-64. |
| APA | 谢侃,孟革,&齐上雪.(1991).亚原子单层膜的蒸镀及厚度计算.真空科学与技术(1),61-64. |
| MLA | 谢侃,et al."亚原子单层膜的蒸镀及厚度计算".真空科学与技术 .1(1991):61-64. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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