用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何萌 ; 刘国珍 ; 仇杰 ; 邢杰 ; 吕惠宾 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 2页码:1236-1240 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44133]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何萌,刘国珍,仇杰,等. 用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜[J]. 物理学报,2008(2):1236-1240. |
| APA | 何萌,刘国珍,仇杰,邢杰,&吕惠宾.(2008).用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜.物理学报(2),1236-1240. |
| MLA | 何萌,et al."用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜".物理学报 .2(2008):1236-1240. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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