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用射频溅射设备制备超导铌膜

文献类型:期刊论文

作者徐凤枝 ; 杨沛然 ; 陈烈 ; 曾佩韦 ; 邹鹏程 ; 邱尚湧
刊名低温物理
出版日期1982
期号2页码:169-173
语种中文
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44160]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
徐凤枝,杨沛然,陈烈,等. 用射频溅射设备制备超导铌膜[J]. 低温物理,1982(2):169-173.
APA 徐凤枝,杨沛然,陈烈,曾佩韦,邹鹏程,&邱尚湧.(1982).用射频溅射设备制备超导铌膜.低温物理(2),169-173.
MLA 徐凤枝,et al."用射频溅射设备制备超导铌膜".低温物理 .2(1982):169-173.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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